摘要：本发明公开了一种氧化炉炉门的开关控制方法，其包括炉门到达开关动作的预设行程终点，判断对应的接近开关是否被触发；炉门向开关动作的反方向运动，判断该接近开关是否被取消触发；炉门向开关动作的正方向运动，判断该接近◢开关是否被触发，若是，则判断该接近开关无故障，该炉门开关动作完成。本发明通过接近开关的触发、取消触发和再次触发三步法，来确认接近开关是否有故障，避免了系统错误辨别炉门状态而导致后续发生碰撞的可能性，提高了半导体制造设备的安全性和可靠性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张海轮;周峰;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410174332.1
- 申请时间2014年04月28日
- 申请公布号CN103925795A
- 申请公布时间2014年07月16日
- 分类号F27D1/18(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I;
