摘要：本发明公开了半导体设备上下位机的通信系统及通信方法，其中所述下位机包括用于接收半导体设备的执行机构的状态反馈信息的反馈状态寄存器；用于对不同类型的状态反馈信息配置优先级的优先级配置模块；用于将所述状态反馈信息发送至上位机的输出模块，其包括多组通信端口，每一组的通信端口与一种优先级对应；以及控制模块，用于将状态反馈信息分配至与其优先级相对应的一组通信端口，并通过该组的一个通信端口发送至所述上位机。本发明能够避免重要的状态反馈信息无法及时发送而丢失。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王凯;周峰;
- 地址100016 北京『市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410072418.3
- 申请时间2014年02月28日
- 申请公布号CN103823444A
- 申请公布时间2014年05月28日
- 分类号G05B19/418(2006.01)I;H04L1/00(2006.01)I;
