摘要：本发明公开了一种半导体工厂设备的分布式管理系统，包括设备服务端，数据▽中心服务器以及远程终端。其中，设备服务端与半导体工厂内的各设备进行数据交互；数据中心服务器与设备服务端和远程终端相连，并进行数据交互；远程终端通过所述数据中心服务器获取各设备的数据以及对↑各设备进行数据管理。本发明能够辅∩助使用者对半导体工厂设备进行远程托管。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人魏靖南;张立超;钟结实;贾轶群;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥Ψ东路1号
- 申请号CN201410058363.0
- 申请时间2014年02月20日
- 申请公布号CN103763401A
- 申请公↘布时间2014年04月30日
- 分类号H04L29/08(2006.01)I;
