摘要：本发明提供了一种可快速风冷的热处理♂装置，包括炉体，所述炉体设有内壁、外壁、连接板，所述内壁与所述外壁的底部设有入风口，所述连接板用于连接所述内壁及所述外壁，所述连接板★上设有若干供气流通过的通孔；所述炉体的顶部设有可拆卸的排风装置，所述排风装置上设有至少一个供气流通〓过的排风口，所述入风口与所述排风口连通。本发明通过在炉体上〓设有内外壁用于通风的夹层，内壁与外壁的底部不连接成为风的入口，在炉体的顶部设置可拆卸的排○风装置。在炉体降▓温的过程，向内外壁的夹层中通入冷风，排送至排风口，起到加※快炉体降温的效果。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人董金卫;孙少东;徐冬;
- 地址100016 北京▅市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410058258.7
- 申请时间2014年02月20日
- 申请公布号CN103762164A
- 申请公布时╲间2014年04月30日
- 分类号H01L21/324(2006.01)I;
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京公▆网安备11010802043465号
