摘要：本实◆用新型公开了一种半导体立式热处理设备的工艺管排气装置，将半导体立式热处理设备工∑艺管的排气口与连通排气管路的排气管采用法兰相对接，法兰连接面之间具有间隙，并设有密封圈密封，在一侧法兰的连接面位于密封圈与法兰内壁之间处设有吹气口，吹气口通过法兰本体内的吹气腔道连通至吹气进气口，二侧法兰通过夹紧调节机构相固连；冷却吹扫气体经由吹气进气口、吹气腔道、吹气口进入法兰连接面之间的间隙，起到阻隔高温◥尾气、冷却密封圈及调节排气管内部温度和压力的作㊣ 用，此外，在工艺处理前，通过气体吹扫，还可以达到净化△排气管路的效果。本实用新型具有密封性好、提高耐〓温性、结构设计简单和具有可调性等显著特点。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人徐冬;宋新丰;
- 地址100016 北京【市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201420243244.8
- 申请时间2014年05月13日
- 申请公布号CN203859104U
- 申∴请公布时间2014年10月01日
- 分类号H01L21/324(2006.01)I;
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