摘要：本发明涉及一种半导体热处理设备的热电偶故障诊断与处理方法及系统，该系统包括滤波器、感温模块、逻辑处理器、温度控制器和电力控制单元，以形成闭环控制；其中，热电偶采集热处理设备温度数据经过滤波器，再经过感温模块后进入逻辑处理器，逻辑处理器基于短路异常状态模型对热电偶采集的温度数据进行处理，判断当前热电偶的工作状态生成相应的处理对策，并将处理对策发送给温度控制器，温度控制器根据处理对策生成控制参数，发送给电力控制单元执行，其中，处理对策考虑各控①温区间的耦合效应，实现多控温区间控制协调补偿。因此，本发明能判断出控♀温热电偶的短路故障，且能够及时切换到相应的控温模式，保证※工艺的继续进行，将损失降到最低。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人徐冬;王艾;张乾;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410058381.9
- 申请时间2014年02月20日
- 申请公布号CN103759860A
- 申请公布时间2014年04月30日
- 分类号G01K15/00(2006.01)I;G01K7/02(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
