摘要：本发明公开了一种风机过滤单元，安装在半导体立式炉设备的侧壁上，包括：壳体，所述壳体为长方体空心结构，壳体的正面开设有出风口；第一过滤器，所述第一过滤器固定安装在壳体的出风口处；空腔，所述第一过滤器与所述壳体之间设有供气流通过的空腔；所述壳体的底部设有凸出的离心风机安装位，所述离心风机安装在离心风机安装位上，壳体底部设有进气口，所述进气口将半导体立式炉设备内的气流吸入，经过离心风机并排送气体至空腔，经第一过滤器过滤后，提供气流至半导体立式炉设备内部。本发明提供的风机过滤单元结构简单，占用空间小，充分的利用半导体立式炉设备中的空间，为微环境提供稳定的、高洁净度的、均匀的水平气流。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人宋新丰;王丽荣;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410010252.2
- 申请时间2014年01月09日
- 申请公布号CN103711734A
- 申请公布时间2014年04月09日
- 分类号F04D29/70(2006.01)I;F04D29/66(2006.01)I;F04D29/42(2006.01)I;
