摘要：本发明公开了一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，包括：对LPCVD设备各个温控▲区建立包含时滞误差的PID控制模型；建立包含权重系数的比例，积分，微分控制项的自校正调节项模型，并确定已建立的权重系数取值范围；建立监督控制项，用于加强控制系统的稳定性。同时，本发明也公开了一种LPCVD设备的温控系统自校正装置，包括：控制模型模块，用于建立LPCVD设备各个温控区的包〓含时滞误差的PID控制模型；权重PID控制模型模块，用于建◥立包含权重系数的比例，积分，微分控制项模型，并确定已建立的权值系数取值ぷ范围；监督模块，用于加↑强系统的稳定性。通过此种设计，提高了PID控制模型参数设置的准∩确性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王峰;张乾;
- 地址100015 北京市朝阳区＠ 酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201310504946.7
- 申请时间2013年10月23日
- 申请公布☆号CN103576672A
- 申请公◆布时间2014年02月12日
- 分类号G05B23/02(2006.01)I;G05B13/04(2006.01)I;
