摘要：本发明涉及自动化控制技术，具体公开了一种化学药液供给系统。所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：供液装置分别与主用储液罐、备用储液罐以及控制器相连接；主用储液罐及备用储液罐用于储存并提供化学药液；供液装置用于接收控制器的指令，并根据指令将主用储液罐或备用储液罐中的化学药液输送给外部设备；控制器用于控制供液装置将化学药液输送给外部设备。本发明提出的化学药液供给系统能够在不间断供给的情况下更换药液储液罐，液体流动相对＠ 封闭，且能够解决药液流量变化较大时同一套供液系统不兼容的问题。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人初国超;何金群;裴立坤;王锐廷;王营营;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201210563808.1
- 申请时间2012年12月21日
- 申请公布号CN103047539A
- 申请公布时间2013年04月17日
- 分类号F17D1/14(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;
