摘要：本发明涉及硅片湿法处理领域，具体公开了一种过滤装置，其包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，排※液口接头的一端连接排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，过滤件设置在进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。本发明通过过滤件将碎屑过滤掉，从而减少了碎屑对阀体的损害，在碎片后做维修时，只需对过滤装置进□ 行维修、清理或♀更换，而不需要对过滤●装置之后的阀做维修，这样□降低了维修时间和维修成本，提高了阀的使用寿命。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王波雷;张豹;贾星杰;高浩;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201210457651.4
- 申请时间2012年11月14日
- 申请公布号CN102940991A
- 申请公布时间█2013年02月27日
- 分类号B01D35/04(2006.01)I;
