摘要：本发明涉及半导体设备中的安全门技术领域，公开了一种安全门，包括门、安全门锁(2)和机⌒械门锁，所述安全门锁(2)安装在∑ 所述门内侧上，所述机械门锁安装在所述门外侧上。本发明通过在微环境门内、外侧同时设置门锁设计了一种安全门，其结构简单，尤其适用于半导体设备中，能够保证在微环境内工作的安全性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王丽荣;董金卫;钟华;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201110366066.9
- 申请时间2011年11月17日
- 申请公布号CN102434075B
- 申请公■布时间2014年02月05日
- 分类号E06B5/12(2006.01)I;E05B63/14(2006.01)I;
