摘要：本发明涉及刻】蚀清洗技术领域，具体公开〗了一种滚轮和刻蚀清洗机，其中，在所述滚轮表面沿其径向方向设置有凹槽。本发明通过在滚轮上设置凹槽，利用凹槽携带药液能够实现对电池片下表面的均匀刻√蚀，而且药液液面仅达到滚轮的四分之一直径处∩即可，避免了药液对电池片上表面的腐蚀。更进一步地，由于电池片和药液液面之间具有一定空隙，可以将排风管设置在电池片下方，有利于更好的排出药液形成的酸雾，避免酸雾对电池片上表面的腐蚀。提高了电池片的刻蚀效率，改善了电池片的刻蚀效果，提高了电池片的合格率。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人李建国;杨来宝;胡彩丰;
- 地址100016 北京市朝阳◣区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201110356000.1
- 申请时间2011年11月10日
- 申请公布号CN102386086A
- 申请公ζ布时间2012年03月21日
- 分类号H01L21/306(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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