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                教育装备采购网首页 > 知识产权 > 专利 > CN202601573U
                
            
                
                
                
                    
                
                        

                        
                        
                    
                
                
                
            
                
        
                
        
                
            
                
                
                太阳能硅电池湿法刻蚀机气帘保护装置
                
                
                
                
                
                    
                　　摘要：本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机气帘保护装置，包括槽体】和盖板，其特征在于：在槽体的刻蚀段后方设置过渡区，在过渡区的后方设置一抽风管；在抽风管的后方加装一把气刀，利用气刀的风力在其覆盖区域内形成一道气墙。本实用新型的有益效果是，利用气帘装置及其配套的元件所组成的系统，有效的防止了刻蚀段的酸气扩散。
                
                    
                    
                  
                        
                • 专利类型实用新型
                  • 
                        
                • 申请人苏州晶洲装备科技有限∞公司;
                  • 
                        
                • 发明人张强;施利君;
                  • 
                        
                • 地址215555 江苏省常熟市辛庄光伏产业园光华环路32号
                  • 
                        
                • 申请号CN201220111852.4
                  • 
                        
                • 申请时间2012年03月21日
                  • 
                        
                • 申请公布号CN202601573U
                  • 
                        
                • 申请』公布时间2012年12月12日
                  • 
                        
                • 分类号H01L21/306(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
                  •