摘要：本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机刻蚀段双层抽风系统，所述系统为水平传输的链式结构，其特征在于：所述系统包括槽体、第一层盖板和第二层盖板，在槽体刻蚀段入料方向与出料方向各有一个抽风口；所述抽风口连接槽体第一层盖板，该盖板上设有抽风分流口，同时该盖板还设有进新风口；所述第一层盖板与第二层ぷ盖板之间设置一层缓冲区；所述缓冲区下方安装第二层盖板，该盖板上密集的开了若干小孔。本实用新型的有益效果是：利用第一层盖板进行抽风压力的第一次分流，经过缓冲区缓冲与均匀化以后，第二层盖板整个刻蚀区抽风十分均匀，解决了原刻蚀机因抽风段抽风不均匀所引起的硅片方块电阻不均匀的飘升现象，保证了电池片出片的品质。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州晶洲装备科技有限公司;
- 发明人钱诚;吴兵;
- 地址215555 江苏省常熟市辛庄光伏产业园光华环路32号
- 申请号CN201220111882.5
- 申请时间2012年03月21日
- 申请公布号CN202855716U
- 申请公布时间2013年04月03日
- 分类号H01L21/306(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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