摘要：本发明涉及一种清洗药液的复合温度控制方法，属于自动化控制技术领域。为提高药液温度控制方法的抗扰动能力，该方法包括：在药液存储槽底部位置及工艺清洗供液出口处各自设置温度传感器；在加热器及工艺清洗供液出口处分别设置内环PID控制器及外环PID控制器；控制加热器加热药液存储槽，使存储槽内药液温度达到目标温度值；当药液达到目标温度值并稳定后，进行清洗药液供给，同时控制加热器加热功率使供液温度稳定保持为供液目标温度值。该方法可以有效克服因清洗药液回收、补液或加热器前端管路因素所引起的供液出口处的供液温度的扰动；通道中主回路和副回路采用异步采样，副回路可快速抑制扰动，且温度信号不会过于灵敏而导致噪声太多。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人李曼;李春彦;马嘉;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201110145398.4
- 申请时间2011年05月31日
- 申请公布号CN102218412A
- 申请公布时间2011年10月19日
- 分类号B08B3/10(2006.01)I;G05D23/00(2006.01)I;
