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                美国PNI原子力显微镜

                美国PNI原子力显微镜
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                美国PNI
                源顺国际有限∮公司
                上海
                详细说明

                样品台规格
                尺寸 16英寸宽 × 18.5英寸高× 25.25英寸厚
                重量 170磅
                电缆 6英尺
                电源 电源控制器


                AFM 扫描仪规格
                X-Y 方向扫描 范围 80 µm
                分辨率 2 nm 校准传感器 开
                1 nm 校准传感器 关
                线性化 1% 非旋转
                2% 旋转
                Z 方向扫描 范围 8 µm
                Z噪讯 0.13 nm 校准传感器 开
                0.07 nm 校准传感器 关
                传感器线性化 100 nm for 80 µm Scan (<0.2%)
                探针的处理 钢基底上预安装好的悬臂
                模块尺寸 1英寸高× 4英寸宽× 2.5英寸厚
                光学视野 90° - 从最表层到悬臂31 mm 45°


                样品台规格
                真空环 2英寸,4英寸,6英寸,8英寸
                样品厚度 7mm
                样品直径 < 8英寸 全存取
                < 12英寸 部分存取
                附件 真空


                平移◣台规格
                X 范围 4英寸
                Y 范围 5英寸
                X-Y 步长 4 µm
                Z 范围 3/8英寸
                Z步长 .32 µm
                角度调节 5°


                影像显微镜规格
                放大倍数 1000x 9英寸监视器上观察
                视野 140 µm × 190 µm 最大的缩放
                分辨率 1.5 µm
                监视控制 缩放 直流电机
                聚焦 步进电机
                缩放 4:1
                X-Y 透镜位置 1 mm × 1 mm 手动控制


                计算机规格
                处理器 >1000MHz
                硬盘 20 GB
                CD光驱 52x
                内存 256 Mb
                操作系统 Windows XP™


                控制器的规格
                高(in.) 宽(in.) 厚(in.) 重量(磅)
                电子控制器 17 15 15 35
                计算机 17 8 18 22
                监视器 18 16 18 30


                控制单元规格
                重量 65磅
                电压 115/230 伏交流电, 50/60 Hz
                电流 0.95/0.45 安培
                温度 50-95°
                湿度 5-60%,不凝固的



                主要特点

                Nano-I™ 主机
                Nano-I™ 主机非常容易安装在桌面上,可以在一般的实验环境中获得高解析的图像。主机尽可能去适应各种不同的样品类型,同时也兼顾到尽可能让AFM探头的设置和使用简易。主机包含:
                •AFM 探头
                •样品台
                •平移X-Y-Z 样品台
                •高解析影影显微镜
                主机的所有电源都是由一个六英尺长的电子控制器提供的。操作上需要一根高压电线和一个真空源。因为主机是安装在花岗卐岩的支架上,所以PNI建议当有需要移动主机时, 最好由两人同时进行。


                AFM 扫描仪
                Nano-I™ AFM 扫描仪使用光调节杆法来监视悬臂在样品表面扫描时的移动。在NPI独特的新设计中, 扫描仪提供一个直接的内部扫描校准器和一个空轴扫描仪,便于用镜头直接观察。AFM传感器的校正可以通过调节四个螺丝旋钮来完成,使其很容易地接近AFM探头∏的前方。其中两个螺丝旋钮移动激光在悬臂上,另两个则移动光电探测器到反射激光的光路上。


                Z方向的机动化进针
                Nano-I™ 包括3个独特的动态进针系统 ,用于移动AFM探针接近样品表面扫描。每个电动机能独立控制移动3/8英寸并包括位置检测器。控制Z方向进针的软件包包含在 SPMCockpit™ 软件中.

                样品台
                Nano-I™样品台适用于所有类型的芯片和圆盘。当一个芯片置于样品台上面后,真空设备将迅速地使芯片固定在样品台上。在样品台的表面上有2英寸、4英寸、6英寸和8英寸的真空环对应于相同大小的芯片,每个真空环可以独立活动。厚度为0.5英寸的样品也可以被放置在样品台上用于获得AFM图像。样品台可以旋转360° 以便获得整个芯片的AFM图像。同时也可选购光盘固定器用于作DVD分析。

                X-Y-Z 样品台的平移
                Nano-I™具有专利的X-Y-Z 样品台平移装置设计。X-Y方向的移动是通过花岗岩后面的步进电机来完成的,这个花岗岩支撑在一个看不见的位置上,是非常安全和容易清洁的。这个样品台可以在x方向上移动4英寸而在y方向上移动5英寸。通过软件控制很↑容易使芯片安在样品台上。安装在样品平移区的三个马达使样品在Z方向上产生移动。这三个马达不仅对于进针有用,对于样品台的水平测量与样品/探针角度的精确控制也非常有用。

                光学录像显微镜
                一个『光学彩色录像机对于AFM中样品表面扫描中的定位特征是非常重要的。Nano-I™原子力显微镜有一个电驱移动装置和聚焦录像显微镜,后者可以用软件或者系统的示踪球控制。另外还有一个手动装置用于控制物镜的X-Y 位置使得在录像显微镜图像中悬臂的映像居中.


                Nano-I™控制器和主机
                主机
                用于扫描和分析图像的主机是标准的IBM PC型计算机。主机和控制单元之间的连接使用一个标准的以太网连接器。

                控制器
                Nano-I™ 原子力显微镜的控制器是以PC为架购的一个特制控制器,通过标准的以太网接口连接到主机上.


                Nano-I™ 软件
                Nano-I™系统里提供有两个主要的软件模式:一个是获取图像的模式,另一个是显示和分析图像的模式。另外,还有更为高级的显示和分析图像的模式可选.

                图像获取软件
                Nano-I™ 有两类抓图软件,一种是对临时的和初学的使用者,另一种是对高级的使用者。EZMode™ 软件对于新操作或想临时了解Nano-I™仪器的使用者来说是理想的。X'Pert™ 软件则是专门为原子力显微镜的高级使用者而设计的,可以强有力地控制Nano-I™。

                EZMode™ 软件
                EZMode™ 软件是一个引导你如何获得AFM图像过程的连续软件包。这个过程导向的软件为获取一幅AFM图像给出了按部就班的程序。在EZMode™ 接口的顶端是必须遵循的一系列步骤。
                EZMode™ 软件提供的步骤如下,对于非常有经验的【操作者,通过下面的这些步骤就可以获得AFM的图像:
                •确定悬臂在显微镜当中
                •开始:校正扫描仪(可选择的):选择 "linearize(线性化)",然后选择"scanner auto-linearity"(扫描仪自动线性化)。
                •选择模式:接触模式或振动模式
                •校正激光:校正激光在悬臂上的位置
                •频率扫描:自动寻找最适当◤的峰值(仅在振动模式)
                •台子:移动样品直到想扫描的位置在悬臂下方
                •进针:开动电机使样品接近探针
                •扫描样品:设定扫描尺寸和扫描参数
                •图像处理:显示和分析图像
                •退针:当扫描结束时退针

                X'Pert™ 软件
                使用X'Pert™ 软件可以直接控制"interactive"(交互)模式可用的■特性。下面是X'Pert™ 软件窗口的视图。
                X'Pert™ 软件中菜单项目如下:
                1.设置:这个窗口包含操作显微镜所有的控制参数包括扫描范围,PID(比例积分微分)设置等等。
                2.针尖:针尖按钮控制针尖接近样品的所有方面。进针的类型、进针速度和退针的过程都被控制。
                3.扫描仪控制:在扫描样品时使用这个窗口。这个窗口可同时显示1到4个窗口,有扫描尺寸△、速度、PID(比例积分微分)设置和其它的扫描参数。
                4.力/距离窗口:可用力定位曲线窗口完全控制力/位置曲线。

                图像分析
                使用Nano-I™ 原子力显微镜系统可以实现所有常用的图像分析技术的标准特性。其功能有:
                •柱状图调节
                •图像水平
                •三维显示
                •线路断面
                •图像矫正

                Nano-I™ 分析软件
                启动AFM图像分析窗口顶端的图标可以完整使用到Nano-I的每一个性能。软件特性包括:
                •图像水平:这个窗口可以将图像的样品倾斜抹平。抹平的方法包括3点平面,多项式平面拟合和一维线性水平。在水平过程中可以选择和排除使用者指定的区域。
                •线路断面:可以选择许多类型的线路断面,包括水平的、垂直的、倾斜的、多边形的、圆形的和许多线形平均。最多可以选择四个线路断面作分析。水平和垂直的距离可以在线扫描上计算出来。
                •柱状图分析: 柱状图分析对于最佳化AFM图像█非常有用。可以选择一个图像柱状化的区域来用于显◣示图像完全扁平的范围。
                •滤波:一些滤波的功能可以适用于AFM的图像上。滤波选项包括模糊功能、预定滤波功能和常用的要点。可以选择在滤波过程中不包括的图像区域。
                •傅立叶滤≡波: 可以将一个标准的快速傅立叶变换功能运用到图像中。
                •3D图型:通过多角度和多点可以观察到3D图型。在图像上简单地拖动鼠标就可以改变视角。


                仪器介绍

                Nano-I™ (型号:S-030-0000-1)是特别针对芯片和磁盘影像最佳化的超高性能的原子力显微镜系统。Nano-I™原子力显微镜可应用于研究、发展、制造过程的开发和控制。 整个系统包含了主计算机,软件,控制器和原子力显微镜台。自动的X-Y 台可承载最大到直径为8英寸、厚为0.5英寸的№芯片。使用这个特殊的样品台,可以在计算机的控制下调节探针和样品的角度。Nano-I™ 软件在Windows XP™ 操作系统下运行并有三个软件模块可用来获得和分析AFM图像。
                Nano-I™ 原子力显微镜 
                EZMode™:对一个新手或者对Nano-I™ 了解甚少的使用者来说,EZMode™是非常理想的软件。EZMode™ 软件会一步一步引导操使用者利用基本的步骤获得AFM图像。
                X'Pert™: 这个♀软件是专门为想随时控制Nano-I™ 机台所有参数的使用者而设计的。测量中的每一个参数都可以经由这一套windows的操作程序系统来完成. 
                Nano-Rule™: Nano-Rule™ 软件包括快速观察和分析AFM图像所需的所有重要★的功能。 由于Nano-Rule™ 软件的操作系统是在Windows XP™下发展的,因此它运用了XP下所有最新的特点和浏览报告的功能。

                美国PNI原子力显微镜
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