摘要：本实用新型公开了一种扫描式→微波反射法载流子复合寿命测试系统，该测试系统包括脉∑ 冲激光系统、微波系统、数据采集系统、扫描运动系统、运动控制系统，测试控制系统和探头，扫描运动系统用于将探头进行三维定位，运动∑控制系统分别与扫描运动系统、测试控制系统相连，用于根据测试控制系统指令驱动扫描运动系统动作【；脉冲激光系统、微波系统均设置在探头内，微波系统与数据采集系统相连，数据采集系统和测试控制系统相连。脉冲激光系统产生脉冲式的红外激光，穿过微ω 波系统中微带天线的中间开孔垂直照射在样品台上的被测样品表面。本实用新型可对大面积的半※导体晶体材料进行载流子寿命分布情况的扫描式测量，且结■构更加紧凑，探头体【积小。
- 专利类型实用新型
- 申请人广州↙市昆德科技有限公司;
- 发明人王昕;李俊生;冯小明;田蕾;
- 地址510650 广东省广州市天河区白沙水路123号东门三楼
- 申请号CN201420582020.X
- 申请时间2014年10月09日
- 申㊣ 请公布号CN204154617U
- 申请公布时间2015年02月11日
- 分类号G01N17/00(2006.01)I;G01N22/00(2006.01)I;
