摘要：本发明公开了一种对薄层材料进行ζ 无损测量的方块电阻测试仪及其测试方法，该测试仪包括红宝石四探针头、测试架、主机、测量控制系统、测试电压调节器和恒流源通断切换开关，主机内包括恒流源电路和电源电路，测试电压调节器设置在电源电路和四探针头之间，用于在测试开始前调节四探针头中两个外探针之间的测试电压。恒流源通断切换开关设置在恒流源电路和四探针头之间，用于控制在探针针尖完全压触在薄层材料表面后才接通恒流源电路。本发明还公开了基于上述测试仪的测试方法。本发ω明可以调节1、4探针的测试电压，避免发生高压击穿，红宝石四探针头有恰当曲率半径和压力，探针□ 压力可在25-250g的较大范围内变化，能够广泛应用于测量各种新→型薄层材料。
- 专利类型发明专利
- 申请人广州市昆德科技有限公司;
- 发明人王昕;苟永江;龚红玉;
- 地址510650 广东省广州市天河区白沙水路123号东门三楼
- 申请号CN201310444506.7
- 申请时间2013年09月23日
- 申请公】布号CN103472308B
- 申请公布时间2016年06月29日
- 分类号G01R27/14(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I;
