摘要：本发明公开了一种基于电容充放电原理的半导体电阻率测绘仪及测绘方法，测绘仪包括三轴运动平台、样品台、检测探头、数据采集卡、控制装置、氮气供应系统、脉冲电压发生电路，样品放置在样品台上，三轴运动平台控制检测探头定位到样品上需要测试的点位置的上方，脉冲电压发生电路向样品台施加低压脉冲信号，检测探头包括采样电极、采样电路、氮气输送通道，采样电极一端为探测面，另一端与采样电路相连，采样电路通过数据采集卡与控◣制装置相连。测试时，氮气供应系统输送氮气到采样电极与样品之间。控制装置根据采样电≡极采集的每个测量点的电荷变化计算出样品电阻率。本发明⊙可实现半导体材料的电阻率分布式测量，直观→且准确地反映材料的整体性能。
- 专利类型发明专利
- 申请人广州市昆德科技有限公司;
- 发明人王昕;李俊生;冯小明;田蕾;
- 地址510650 广东省广州市天河区白沙水路123号东门三楼
- 申请号CN201510547010.1
- 申请时间2015年08月28日
- 申＠请公布号CN105158568A
- 申请公布时间2015年12月16日
- 分类号G01R27/02(2006.01)I;
