摘要：本发明公开了一种扫描式微波反射法载流子复合寿命测试系统及测试方法，该测试系统包括脉冲激№光系统、微波系统、数据采集系统、扫描运动系统、运动控制系统，测试控制系统和探头，扫描运动系统用于将探头进行三维定位，运动控制系统分别与扫描运动系统、测试控制系统相连，用于根据测试控制系统指令驱动扫描运动系统动作；脉冲激光系统、微波系统均设置在探头内，微波系统与数据采集系统相连，数据采集系统和测试控制系统相连。脉冲激光系统产生脉冲式的红外激光，穿过微波系统中微带天线的中间开孔垂直照射在样品台上的被测样品表面。本发明可对大面积的半导体晶体材料进行载流子寿命╱分布情况的扫描式测量，且结构更加紧凑，探头体积小。
- 专利类型发明专利
- 申请人广州市昆德科技有限公司;
- 发明人王昕;李俊生;冯小明;田蕾;
- 地址510650 广东省广州市天河区白沙水路123号东门三楼
- 申请号CN201410528794.9
- 申请时间2014年10月09日
- 申『请公布号CN104266960A
- 申请公布时间2015年01月07日
- 分类号G01N17/00(2006.01)I;G01N22/00(2006.01)I;
