摘要：本发明公开了一种可调控注入比的高频光电导寿命测试仪及其测试方法，测试仪包「括样品台、测试主机、工控机、显示器。测量时，待测样品置于载物平台上，待测样品与两测试电极板形成接触，红外激光器发出的激光束照射在待测样品上；测试主机中，可编程脉冲光源驱动器的输入端与工控机相连，输出端与红外激光器相连，驱动红外激光器射出特定强度及波长的激光束，高频信号发生器的输出端与第一测试电极板相连，第二测试电极板、磁环取样器、数字峰值检波器、宽带放大器、数据采集卡、工控机、显示器依次连接。本发明使得注入比稳定在设定值，避免出现同一半导体材料晶体在使用不同仪器测量时由于注入比不一致导致得到的寿命值不一致，降低误判。
- 专利类型发明专利
- 申请人广州市昆德科技有限公司;
- 发明人王昕;王世进;冯小明;
- 地址510650 广东省广州市白沙水路123号东门三楼
- 申请号CN201610809114.X
- 申请时间2016年09月07日
- 申请公布号CN106249122A
- 申请公布时间2016年12月21日
- 分类号G01R31/265(2006.01)I;
