摘要：本实用新型公开了一种分光干涉膜厚测量仪，包括样品台、连接臂、电动机、移动座、镜头、光源、分光模块和计算机，所述连接臂的一端安装于所述样品台的一侧，所述〒连接臂的另一端与所述电动机连接，所述电动机的转轴与所述移动座的一侧连接，所述镜头安装于所述移动座上，所述光源的信号输出端和所述分ξ光模块的信号输出端均与所述镜头连接，所述计算机的信号输出端与所述分光模块的信号输入端连接。本实用新型设计一种结构较为简单的分光干涉膜厚测量仪，能够精确的测量出分光噶社的膜厚，其性能较为稳定。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京普瑞微纳科技有限公司;
- 发明人雷枫;李少博;问孝明;
- 地址100080 北京市海淀区中关村东路95号8号楼415室
- 申请号CN201420114500.3
- 申请时间2014年03月14日
- 申请公布号CN204043622U
- 申请公布时间2014年12月24日
- 分类号G01B11/06(2006.01)I;
