摘要：本实用新型公开了一种晶圆片自动中心定位仪，包括LED灯、图像传感器、图像数据处理器、像素计数器ξ 和控制电路，所述LED灯的『信号输出端与所述图像传感器的信号输入端连接，所述图像传感器的信号输出端与所述图︼像数据处理器的信号输入端连接，所述图像数据处理器的信号输出端与所述↓像素计数器的信号输入端连接，所述控制电路的信号输出端分别与所述图像传感器的信号输入端和所述像素计数器的信号输入端连接。本实用新型设计了一种晶圆卐片自动中心定位仪，可以用于机械手上，来完成对晶圆↑片的中心定位，使得具有定位精确、工作⌒效率较高和材料报废率较低的优点。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京普瑞微纳科技有限公司;
- 发明人雷枫;李少博;问孝明;
- 地址100080 北京市海淀区中关村东路95号8号楼415室
- 申请号CN201420114498.X
- 申请时间2014年03月14日
- 申∑ 请公布号CN203787407U
- 申请公布时间2014年08月20日
- 分类号H01L21/68(2006.01)I;
