摘要：本发明涉及一种白光干涉测量样品表面形状精细分布的方法及装置。其方法是将一束白光分别投射到样品和参考镜表面，两表面反射光再合成一束光投射在CCD相机感光面形成干涉条纹；通过改变样品和物镜的间距，在感光面上形成多幅干涉图像，输入计算机后得到振幅调制信号与光源的光谱分布相关的余弦函数的分布，通过非等间隔时间采样方法采得若干振幅调制信号的离散值，进而求得样品表面的相对高度。测量装置由光源、半反半透分光镜、CCD相机、干涉显微物镜和样品台等组成，分光镜将光源光束分为反射和透射两束光，CCD相机和干涉显微物镜分别设在其透射和反射光轴方向上，CCD相机与计算机控制连接，干涉显微物镜可由计算机控制做上下移动。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京普瑞微纳科技有限公司;
- 发明人张民芳;成武;
- 地址100190 北京市海淀区中关◥村东路95号8号楼415室
- 申请号CN200710018030.5
- 申请时间2007年06月12日
- 申请公布号CN101324422B
- 申请公布↑时间2011年01月19日
- 分类号G01B9/023(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;
