摘要：一种离子镀膜①机的靶前活动遮挡板装置，包括由驱动机构驱动的门轴(10)以及连接在所述的门轴上的活动遮挡板(12)，其特征是：所述的驱动♂机构驱动门轴的方式为：驱动机构的从镀室上面伸进镀室的转动轴(2)的端部、固连○在一开口朝下的传动套筒(7)的底部上，传动套筒(7)的开口端上对称地开有2个缺口(9)；所述的门轴(10)上顶〖端对称地设有2块门轴拨动翼(8)，所述的2块门轴拨动翼(8)与所述的2个缺口(9)间隙配合；所述的门轴底端支承在一滚珠上。本实用新◤型采用非固连和非轴承定位的模式，从根本上解■决了现有技术的活动遮档板转动不畅和卡死现象，故障率□极低且保养维护方便，大大提高生产效率和产品质量。
- 专利类型实用新型
- 申请人东莞市汇成真空科技有限①公司;
- 发明人李志荣;李志方;罗志明;李秋霞;
- 地址523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 申请号CN201120338437.8
- 申请时间2011年09月09日
- 申请公布→号CN202297761U
- 申请公布时间2012年07月04日
- 分类号C23C14/54(2006.01)I;
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