摘要：一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，本发明的膜厚控制仪主机位于炉体顶板上方安装在转轴上端，晶振探头安装在工件转架上，晶振探头的电导线和信号线从转轴→的上部的中空的腔体中密封穿出炉体，冷却水回路从转轴的下部的中¤空的腔体中密封穿出炉体，即本发明实现了晶振探头水电的分开传送。本发明把晶振探头的冷却水回路及其电导线与信号线分开分别从炉体传动轴的下部和上部传送，改变了现有技术中集中在传动轴上部传⊙送的方式，水电分▲离传送，简化了之前传动轴上述庞杂的结构，有利于提高设备的可ㄨ靠性，降低故障率。
- 专利类型发明专利
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;李志方;罗志明;陸创程;
- 地址523820 广东々省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 申请号CN201410322904.6
- 申请时间2014年07月08日
- 申请公布号CN104131261B
- 申请公布时ξ 间2016年09月14日
- 分类号C23C14/54(2006.01)I;
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