摘要：本实用新型涉及一种多片比较片换位机构。该多片比较片换位机构包括比较片筒、拨盘、重叠放置于比较片筒内的比较▓片、以及位于拨盘下方的比较片接收筒。本实用新型的多片比较片换位机构通过在比较片筒内重叠放置比︽较片使得比较片机构所占面积减小，且放︻置比较片的数量大大增加，从而使整个机构的直径大大缩小。这样，整个机构的尺寸减小可以使工件盘上可装载的被镀工件的有效面积增大，提高生产效率，而且可以提高薄膜监控的精度，并降低对硬件系统的要求，容易实现对系统的自动∞控制。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人陈月增;李红然;王红雪;
- 地址102600 北京市大兴工业开发区前高米店盛坊路北京仪器仪表基地
- 申请号CN200920110200.7
- 申请时间2009年07月24日
- 申请公↙布号CN201459236U
- 申请公布时间2010年05月12日
- 分类号C23C14/54(2006.01)I;
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