摘要：本发明涉及真空泵防腐技术，具体的说是一种干式真空泵防腐方法。具体是向干式真空泵转子内部喷涂或镀膜即实现干式真空泵防腐。采用本发明可以确保干式真空泵内腔体和转子与被抽的腐蚀性介质隔离，同时保证镀『膜本身不会被腐蚀，提高真空泵的使用寿〓命，同时也防止了回收尾气中杂质的产生。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人王光玉;于明鹤;李昌龙;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
- 申请号CN201410652719.3
- 申请时间2014年11月14日
- 申请公▲布号CN105649990A
- 申请公布时间2016年06月08日
- 分类号F04C29/00(2006.01)I;F04C25/02(2006.01)I;
