摘要：一种预对准机的标定方法，一机械手将一晶圆放置在一预对准机上；所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤：机械手将晶圆放置在预对准机上，晶圆的圆心处于预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点；预对准机识别第一位置点在第一坐标系中的坐标；机械手驱使晶圆沿机械手所在的一第二ξ坐标系的横轴方向移动一距离，晶圆的圆心到达一第二位置点；预对准机识别出第二位置点在第一坐标系中的坐标；计算第∏一位置点与第二位置点的连线与第一坐标系的横轴之间的夹角，即为第一坐标系与第二坐标㊣ 系的相对方向；所述机械手调整晶圆位置，对晶圆进行预对准。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人曲道奎;徐方;张鹏;温燕修;李学威;孙义田;郑鋆;王鲁非;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201210002104.7
- 申请时间2012年01月05日
- 申请公布号CN103199022B
- 申ζ 请公布时间2015年05月13日
- 分类号H01L21/50(2006.01)I;G01B21/00(2006.01)I;
