摘要：一种机械手末端执行器，包括有手指及固定钳口，固定钳口固定在手指上，所述机械手末端执行器还包括有连接块、导向轴及随动导轮，连接块滑动安装在手指上，导向轴固定在连ω 接块上，随动导轮转动固定在连接块上，手指能够相对导向轴的轴线转动，导向轴与连接块能够相对手指沿导向轴的轴线移动，随动导轮随连接块一起移动，直至随动导轮与固定钳口夹住晶圆片，随动导轮在夹住晶圆片的过程中能够相对连接块转动以对晶圆片的位置进行调节。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人管莉娜;曲道奎;徐方;李学威;王金涛;温燕修;周道;边弘晔;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201210002054.2
- 申请时间2012年01月05日
- 申请公布号CN103192401A
- 申请公布时间2013年07月10日
- 分类号B25J15/00(2006.01)I;
