摘要：本发◆明公开了一种快速升降温退火炉，包括炉体，炉体包括支座以及沿支座上的滑轨左右移动的加热腔体，加热腔体内贴附有聚轻纤维保温内衬并设置有加热器，在加热腔体一侧的支座上固定有工件托架，工件托架的前部延伸设置有工件托放平台。在聚轻纤维保温内衬上涂覆有超高温涂层。加热腔体和工件托架之间的支座上设置有沿支座滑轨左右移动的石英反应腔体；工件托架后部开设有与石英反应腔体内部相连通的进气口和与外部抽真空设备相连通的出气口。本发明的优点在于加热腔体内贴附整体氧化铝聚轻纤ㄨ维保温内衬，工作时较传统炉体节能70%，升降温速率最快可达≤500℃/S，省却了水冷系统，降低了设备制造成本和生产成本，扩大了设备应用范围。
- 专利类型发明专利
- 申请人河南诺巴迪材料科技有限公司;
- 发明人宋风宽;
- 地址451100 河南〗省郑州市新郑市薛店镇新孟公路东侧
- 申请号CN201310005931.6
- 申请时间2013年01月08日
- 申请公布号CN103000496B
- 申请公布时间2015年04月15日
- 分类号H01L21/02(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I;
