摘要：本发明公开了一种大面积纳米金刚石涂层场发射阴极的制作方法，该方法选择钛片作为基底，利用电泳法在基底上沉积纳米金刚石涂层，通过HFCVD热处理在基底与金刚石涂层之间键合生成TiC过渡层。其制作方法包括：先对基底钛片进行抛光处理，然后利用电泳法在其上沉积纳米金刚石颗粒，最后采用氢等离子体对阴极表面处理以提高场发射特性。本发明制备的金刚石涂层平面场发射阴极，由于在基底与金刚石涂层之间键合生成过渡层，提供了电子共振遂穿的界面势垒，实现高密度的电子注入，同时，也加强∏了纳米金刚石与基底的黏附性。该法可制备大面积FED阴极，工艺简单、成本低廉、易于推广。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北大学;
- 发明人张志勇;杨延宁;翟春雪;王雪文;赵武;闫军峰;
- 地址710069 陕西省西安市碑林区太㊣ 白北路229号
- 申请号CN201010168606.8
- 申请时间2010年05月11日
- 申请公布号CN101840823A
- 申请公╲布时间2010年09月22日
- 分类号H01J9/02(2006.01)I;
