PE100等离子╱清洗机≡_教育♀装备采购网

产品报价：￥260000元

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品　　牌：PE

产品型号：PE100

适用范围：高教

所在地区：美国

详细说明

美国产Plasma Cleaning System

PE-100实验室等离子表面处理机

PE公司成立于1980年，致力于提供电子行业用的等离子设备及相关服务。通过几十年的发展，公司发展成为提供等离子设备方面的专家，可为客户提供专业的产品和解决方案，先后众多知名企业提供等离子处理设备：美国宇航局NASA, 美国波音Boeing，著名的电子保安系统产品制造商美国霍尼韦尔Honeywell,美国摩托罗拉Moto, 德国拜耳Bayer，世界军用飞机的领军企业美国洛克希德马丁Lockheed-Martin等等。

PE公司介绍

PE-100等离子表面处理系统是一款集综合功能于一身的重量级产∑　品。既可以应用于大学，科学研究机构，又能在工业级应用领域针对于小批量生产发挥强大作用。

产品特点：

1.体积小，配备小型真空▼泵，无需占用很大空间，可以放置在任何实验台上。

2.性能可靠，“度量”宽大。真空腔体采用T6061经过特殊处理的航空铝合金材料无缝焊接，有效处理面积达到约229mm*330mm.间距76mm(3层电极)可以轻松将大部分实验样品放〓入真空腔体内并实现①小批量生产。

3.配置灵活,PE-100拥有灵活多变的参数配置组合，能够胜任使用者的不同需求。除了配置不☉同的频率（100~460KHz，13.56MHz）,不同的频率段，还提供不同的功率以供用户选择。在控制系统上，也配置∴了面板控制和更精准的全数字电脑控制，以满足用户的使用要求。

4.可以〖配置独有专利的过程控制的温控电极与RIE反应性等离子体处理系统。

5.操作简便.设备的安装非常简单，工厂还提供详尽的说明和相应的管道等配件。面板的■操作部分，在设计中做到尽可能简单和⌒　避免误操作。一般操作人员在▽极短的时间内就可以熟练操作，甚至只需要几分钟就可掌握。

6. 安全保障：在小〗型设备中，唯一引入一键急停保护按钮，当参数设置有ζ误而设备已经启动的时候，可以快速终止实验，以最小程度降低〗因操作失误而造成对样品的损害。

PE-100参数：

外部尺寸	432mm* 711mm*762mm 重量：73Kg
真空腔材质	耐ω　用的焊接6061 T6铝合金真空◎腔
真空腔尺寸	约305mm宽356mm深305mm高
电极尺寸	约229mm*330mm.间距76mm(3层电极)
等离子发※生器	300 W @ 100-460 KHz（可选配13.56MHz）
供气	质ぷ量流量控制器: O-50cc （连续可调）
压力测量	Pirini真空计：0-1Torr
控制器	基于WINDOWS操作系统的控制系统
安全保障	一键急停按钮
电源	220VAC，14A

附件（可选件）

抽气装置：推荐型号：6.5 CFM 2级直驱真空】油泵

300w, 13.56Mhz可自动调节射频发生器

一层电极

温控电极

RIE反应性电极

可控速率」氮气自动吹扫装置

静电屏蔽◤装置█

样品处理实例：LED灯基片处理前后对比

PE100等离子清洗机

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