InSEM是用于原位真空环境下，如SEM或FIB，表征材料表面或结构的机械性能的仪器，具有亚纳米级的分辨率。SEM/FIB真空环境被称为未来的实验室。在这个微观环境下，任何测试都有独特的特性，如果没有SEM的定位和微观成像，许多应用都无法实现。InSEM使得在SEM环境下进行高分辨率的机械行为测试。

主要特点：

1.模块设计灵活性高

InSEM为模块化设计，具有高适应性，能够适用于各种▅应用。InSEM能安装于各种SEM腔体上的接口或直接安装在SEM台上。

2.特有的连续硬度动态测量功能

连续硬度测量功能可以直接采集压入过程中的每个载荷和位移数据对应压入深度的接触刚度、进而计算出硬度与弹性模量等力学性能作为压入深度的连续函数。

3.数据采集快捷方便

高速数据采集系统，通过鼠标就可以实时切换测量参量（载荷、位移、硬度、弹性模量和接触硬度等）；可将所有测试数据输出为Excel格式，同时显示二维或三维︾图像。

主要参数：

a) 压头总的位移范围 ?70um                  

b) 位移分辨率   ?0.0002nm

c) 位移的噪音水平   ?0.1nm

d) 加载模式 电磁力加¤载

e) 位移测量 电容位移传感器

f) 常规载荷 ?30mN

g) 载荷分〗辨率   3nN

应用领域：

应用领域涵盖了各种表面保护和涂层、多相材料和复合材料、生物材料、MEMS/NEMS器件、半导体领域、高分子、陶瓷、玻璃等。主要用于金属及非金属材料和薄膜的真空环境下静态动态原位纳米压痕力学性能测试和物性参量测量试验。