美国产Plasma Cleaning System
?
????????等离子表面处理机是一种非破坏性的表面处理设备,它是利用能量转换技术,在一定真空负压的状态下,以电能将气体转化为活性极高的气体等离子体,气体等离子体能轻柔冲刷固体样品表面,引起分子结构的改变,从而达到对样品表面≡有机污染物进行超清洗,在极短时间内有机污染物就被外接真空泵彻底抽走,其清洗能力可以达到分子级。在一定条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质,所以能有效避免样品的再次污染。等离子清洗器既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性,也能对样品进行消毒和杀菌。等离子清洗器现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。小型等离子清洗机以体积小、成本低、操作简便等特点广泛应用于科研及小批量生产场合。
????PE公司成立于1980年,致力于提供电子行业用的等离子设备及相关服务。通过几十年的发展,公司发展成为提供等♂离子设备方面的专家,可为客户〗提供专业的产品和解决方案,先后众多知名企业提供等离子ζ 处理设备:美国宇航局NASA, 美国波音Boeing,著名的电子保安系统产品制造商美国霍尼韦尔Honeywell,美国摩托罗拉Moto, 德国拜耳Bayer,世界军用飞机的领军企业美国洛克希德马丁Lockheed-Martin等等。
?
?
?
外部尺寸
|
W14xH14.5xD18?(356mm*368mm*457mm?)重量:52磅
|
真空腔材质
|
耐用的焊接6061 T6铝合金真空腔
|
真空腔尺寸
|
5IDx8D?(127mm*203mm)
|
电极尺寸
|
89*178mm,间隙63mm
|
等离子发生器
|
功率?max.150w(可调)?
频率:50KHz(可选配13.56MHz)
|
供气
|
气体流量控制器? 0-25cc/min w/精密针形阀
|
压力测量
|
热电偶真空计? 0-1Torr
|
控制器
|
PLC微电脑控制系统。方案工艺可以进行自动处理
|
安全保障
|
一键急停按钮
|
电源
|
220VAC,14A
|
样品处理实例(碳化钨基底上的DLC涂层去除)