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热阻蒸发薄膜沉积系统
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产品热度:
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品 牌:
DE
产品型号:
DE300THERMAL
适用范围:
高教
所在地区:
北京
详细说明
LOAD LOCK预真空进样室(可选)
前开门蒸发腔体
冷凝泵和干泵
4个热阻蒸发源或OLED低温蒸发源
最大6”基片
基片旋转
基片偏压(可选)
离子源清洗基片(可选)
基片加热1000度(可选)
晶振沉积速率及膜厚控制
系统手动或自动控制
良好的薄膜均匀性和重复性
可沉积金属、半导体和绝缘材料
可沉积多层膜及合金薄膜
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北京德仪天力科技发展有限公司
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磁控溅射镀膜机
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磁控溅射真空镀膜设备
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热阻蒸发镀膜仪
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PECVD真空镀膜机
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组合多功能◥镀膜机
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硬质、装饰薄膜沉积设备
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电子枪
旋转系列电子枪
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