工作压强 Below 5 x 10-5 Torr is desirable for best operation/
最佳工作压力 低于5 x 10-5 Torr
束电压 4,000 VDC
束电流 0-750 mA continuously variable/0-750毫安连续可调
最大功率 3 kW
水冷系统流量 1.5 gpm
冷却水压差 最小25psi
最高烘烤温度 230°C
坩埚容量 2.24毫升 x 3（或4或5，其中3、4和5指的是坩埚的个数）
DE TECHNOLOGY LIMITED
德仪科技有限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备，以及磁控溅射源/电源、电子束蒸发源、溅射靶材和蒸√发材料、阀门、真空计和流量计、真空密封穿导件等各种真空部件。十几年来，凭着高端的品质，先进的技术和周到的技术服务，德仪公╳司的产品为中国的知名高校、科研院所及企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持！
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