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物理材料光学半导体实验室电ξ子束蒸发真空镀膜仪
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产品报价:
¥
1500000
元
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产品热度:
加载中
品 牌:
DE
产品型号:
DE300
所在地区:
北京
详细说明
LOAD LOCK预真空进样室(可选)
前开门蒸发腔体
冷凝泵和干泵
多坩埚位旋转电子枪
最大6”基片
基片旋转
基片偏压(可选)
离子源清洗基片(可选)
基片加热1000度(可选)
晶振沉积速率及膜厚控制
系统手动或自动控制
良好的薄膜均匀性和重复性
可沉积金属、半导体和绝缘材料
可沉积多层膜
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北京德仪天力科技发展有限公司
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