IC系列大容量15KW电子枪
Features
? True XY sweep with full crucible coverage
? Proprietary anti-beam curl shield for longer more productive runs.
? Rugged drive mechanism to prevent jamming
? Plug-in emitter module
? Enhanced high-stability cooling
? Built in cross-contamination shielding (multi-pocket version)
? Easy access (without disassembly) to magnetic adjustments
? Optional increased run-time features: differential pumping, gas
bleed and dual filaments
德仪科技有限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备，以及磁控溅射源/电源、电♀子束蒸发源、溅射靶材和蒸Ψ发材料、阀门、真空计和流量计、真空密封穿导件等各种真空部件。十几年来，凭着高↘端的品质，先进的技术和周到的技术服务，德仪公司的产品为中国的知名高校、科研院所及「企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持！
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主要产品：
Sputter 磁控溅射薄膜沉积系统
E-Beam 电子束蒸发薄膜沉积系统
Thermal 热阻蒸发薄膜沉积系统
PLD 脉冲激光镀膜系统
Sputter Sources 磁控溅射∞阴极
DC/RF Power Supply 直流/射频电源
E-Beam Sources 电子束蒸发〗源
Thermal EVP Sources 热蒸发源
Deposition Materials 溅射靶材和蒸发镀膜材料
Sample Manipulator 样品台
Feedthroughs 电子穿导器件
Vacuum Valves 真空阀门
Vacuum Components 真空配件
