Features 产品特性
? True XY sweep with full crucible coverage
能够完全覆盖坩埚的XY向扫描
? Sweep coils included with source
电子枪已含扫描线圈
? Enhanced beam culmination
增强的电子束聚焦
? Plug-in emitter module
插入式电子束发射组件
? Enhanced high-stability cooling
增强的高稳定性冷却系统
? Cross-contamination shielding
交叉污染屏蔽
? Rugged design
坚固耐用的设计
? Interchangeable crucibles
可更换的坩埚衬
? High Vacuum compatible
兼容高真空
德仪科技有ζ 限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备，以及磁控溅射源/电源、电子束蒸发源、溅射靶材和蒸发材料、阀门、真空计和流量计、真空密封穿导件等各种真空部件。十几年来，凭着高端的品质，先进的技术和周到的技术服务，德仪公司的产品为中国的知名高校、科研院所及企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持！
我们期待为您提供最适合您使用的真空薄膜沉积设备和部件！
主要产品：
Sputter 磁控溅射薄膜沉积系统
E-Beam 电子束蒸发薄膜沉积系统
Thermal 热阻蒸发薄膜沉积系统
PLD 脉冲激光镀膜系统
Sputter Sources 磁控溅射阴极
DC/RF Power Supply 直流/射频电源
E-Beam Sources 电子束蒸发源
Thermal EVP Sources 热蒸发源
Deposition Materials 溅射靶材和蒸发镀膜材料
Sample Manipulator 样品台
Feedthroughs 电子穿导器件
Vacuum Valves 真空阀门
Vacuum Components 真空配件
