500W 直流磁控溅射电源
输出500W ( 0 to 600 V at 0 to 1 A或 0 to 1200 V at 0 to 0.5 A)
控制模式功率、电流、电压
通讯接口:模拟或数字
输入:220V,单相
1kw和1.5kW及2.5kW直流磁控溅射电源
控制模式功率、电流、电压
通讯接口:模拟或数字
输入:220V,单相
6kW-20kW Pinnacle系列直流磁控溅射电源
快速控制、调整电弧反馈
有效工艺控制
低损耗带来高的传输效率
5kW-20kW Pinnacle Plus系列直流脉冲磁ω 控溅射电源
频率可调范围:5kHz-350kHz
更好控制电弧
双输出
反应溅◆射闭环控制