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工作压力: Below 5 x 10-5 Torr is desirable for best operation最佳工作压力: 低于5 x 10-5 Torr束电压 4,000 VDC束电流 0-750毫安连续可调最大功率 3 kW水冷系统流量 1.5 gpm冷却水压差 最小25psi最高烘烤温度 120°C坩埚容量 2.24毫升 x 4或6或8（其中4、6和8指的是坩埚的个数）
