操作模式：
1.Automatic /自动模式
2.Semi-automatic /半自动模式
3.Manual /手动模式
4.Maintenance/维护模式
沉积源选配：
e-Guns 电子枪
Sputter Sources / 磁控溅射源
Resistive Evaporation/热阻蒸发源
计算机控制系统：
触摸屏简单可视的进行系统控制
一键式自动操作
编程菜单管理：
1.无限数量编程菜单管理
2.编程菜单采用Access 数据库
数据的可视化和管理：
3. 实时☆数据记录
4.图形化数据显示
5.工艺状态和传感器关联互锁
