特点及用途:
专为工业应用设计,提供快速可靠的测量方案;
紧凑、小巧的设计,方便安装在工业设备上;
大扫描范围,对样品大小无限制;
可编程控制实现自动化扫描;
精确定位分区测量,软件拼接图像;
独特的悬臂自定位技术;
简单、易学的软件,多语言界面;
专业的分析、处理离线软件;
提供软件脚本编写界面;
提供专业分析报告、行业报告等。
另:可提供〗独特的无激光原子力显微镜,可用在光敏感材料测试。
主要技术指标:
工作模式:接触模式、F-Z模式、动态力模式、频率-幅值(f-RMS)曲线模式、幅值-距离(RMS-Z)曲线模式等。
可扩展力调制、扩展电阻、相对比、磁力、静电力模式等。
分辨率: XY分辨率:0.15 nm
Z 分辨率:0.027 nm(10μm扫描头)
XY 分辨率:1.7 nm
Z 分辨率:0.34 nm(110μm扫描头)
参数性能:样品尺寸要求:无限制
XY扫描范围:10μm×10μm,可选110μm
Z向范围:2.0μm(对应XY-110μm Z向范围为22μm)
XY线性均差:<0.6%
Z向噪声:接触模式:0.07 nm(最大0.2 nm)
动态力模式:0.04 nm(最大0.07nm)
扫描角度:0 -360°
趋近方式:自动趋近
自动趋近范围:4.5 mm
动态模式频率范围:15-300 KHz(分辨率<0.1 Hz)
采样点:2048*2048
可选配样品台、防震台、自动移动平台及CCD等系统