特点及用途:
精巧、模块化多功能设计,专用于科研;
多种功能模式可供选择:接触模式、动态力模式、相对比模式、力调制、磁力、静电力、开尔文扫描力、扫描热模式、扩展电阻、纳米刻蚀和操纵等;
Flexture扫描头技术确保XY平坦、线性扫描;
自动的探针调整设计;
专利技术SureAlignTM激光光学系统使得在液体环境下也不需激光调整;
独特双透镜视窗观察系统,可从顶部及侧面双向观察样品及探针;
可测▅试各种尺寸的样品;
简单、易学的软件,多语言界面;
提供AFM标准∞样品及扩展样品套装;
提供软件脚←本编写界面;
提供专业分析报告、行业报告等。
主要技术指标:
工作模式:接触模式、F-Z模式、动态力模式、相位成像模式、频率-幅值(f-RMS)曲线模式、幅值-距离(RMS-Z)曲线模式、相位-距离(phase-Z)模式等。
可增选模块:侧向力、静电力、磁力、开尔文扫描力、力调制、扩展电阻、液体测试、操纵、刻蚀等模√式
分辨率: XY 分辨率:0.152 nm
Z 分辨率:0.046 nm(10 μm扫描头)
参数性能:样品尺寸要求∏:无¤样品台无限制,在样品★台上ф≤100 mm;
XY扫描范围:10 μm×10 μm,可选100μm
Z向范围:3μm(对应上述XY 100μm Z向范围为10μm)
XY线性均差:< 0.1%
Z向噪声:接触模式:0.15 nm,动态力模式:0.06 nm
扫描角度:0 -360°
相对范围:90°(<0.05°)
动态力频率范围:15-500kHz(<0.1 Hz)
趋近方式:自动趋近
采样点:2048*2048
*可选配CCD系统、样品台、专业主动式╲防震台、微米移动平台等。