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产品型号：10 (E6500)

制造厂商：上海易微信息科技有限公司

所在地区：上海

技术参数 1. 工作电压(Operate Voltage): 10V x 100A 或 20V x 50A 2. 真空度(Vacuum): <10-5 mbar 3. 工作◥真空度（Operating Vacuum）: 1x10-3 mbar~1x10-4 mbar 4. 工作腔室（Chamber）: 190mm直径100mm深 5. 工作距离（Working Distance）: 125mm 6. 样品台（Stage）: 0~90度可调 7. 抽真空系统(Pump System): 75L/秒抽力的分子泵︼和50L/秒抽力的无油机械旋转泵; 8. 电 源(Power Supply): 220V~240V 9. 蒸发源（Evaporation Sources）： 一个金属丝源和一个碳棒源

主要特点 蒸金蒸碳在同一腔室内 适用于SEM和TEM应用 分子泵真空系统 水平布置腔室使得蒸∞发源和样品的更换操作方便 最佳╳的工作距离125mm 超高分辨率 不需要水冷⌒ 样品台角度可调节 镀膜厚度均∏匀，重复性好 整体尺寸小

仪器介绍 ] E6500高真空镀膜仪继承了传统镀膜仪的大工作距离和样品↘角度可调的优点，同时又融入了紧凑模块化的设计，从根本上颠覆∑了传统高真空镀膜仪的外观尺寸，全新设计的仪器大小只有45 x 25 x 40cm大小。75L/秒的分子泵加上前级50L/秒的无油机械旋转泵，可以在几分钟内达到要求的ATM ¬1x10-5 mbar真空度。 E6500装备了两个热蒸发源，可以是金属和碳棒，安装在腔体内，很容易更换操作，真空室横向布置，样品室门为拉开式，样品就放置在安装在样品室门上的样品台上，样品台角度可以调节以满足复形样品的制备要求。