技术参数
1. 工作电压(Operate Voltage): 0~150mA 主要特点 全自Ψ动操作 SC5750是分子泵系统的超高精度喷金喷碳仪，其真空度可以适应Cr元№素的溅射，由于Cr的颗粒度可达到0.5nm，镀Cr后的样品即使卐在30万倍下也看不到Cr团聚的现象，由于Cr与样品有很↑好的浸润性，能最大限度地体现样品的表面细节形貌。对于从事纳米⌒科学研究的用户而言，SC5750是最佳」的选择。
2. 真空度(Vacuum): <10-5 mbar
3. 工作真空度（Operating Vacuum）: 1x10-3 mbar~1x10-4 mbar
4. 工作腔室（Chamber）: 165mm直径125mm高
5. 靶材尺寸（Target Size）: 54mm直径，0.1mm厚
6. 溅射速率(Sputter Rate): 0~20nm/Min（见附图）
7. 计时器(Timer): 0~240秒;
8. 抽真→空系统(Pump System): 60L/秒抽力的分子泵和50L/秒抽力的无油机械旋转泵;
9. 电 源(Power Supply): 220V~240V
10. 靶 材(Target): Chromium,Gold,Palladium,Platinum,Nickel,Silver,
Palladium, Copper, Titanium, Iridium, Aluminium, Tungsten, Colbalt, Molybdenum, Magnesium, Tantalum, Titanium
超高分辨率
超薄均匀膜溅︽射
分子泵真空系统
自带半导体¤制冷，不需要水冷
样品台高度可调并可旋转倾斜
镀膜厚度均匀，重复性好
靶材↓溅射面积大
LED参数显示
仪器介绍
SC5750采用磁控管靶，54 mm直径∑ 的靶材更换简单快捷。溅射头自带半导体制冷，使得溅射的颗粒更细小，涂层更均匀。
磁电管溅射头、165mm直径125mm高的耐热玻璃∩罩及O型密封圈构成封闭的真空腔体，通过60L/分钟的♀分子泵外接50L/分钟的无油机械旋转泵构成其真空系统，可以在几分钟内达到要求的ATM ¬1x10-5 mbar真空度。直径60mm可放置6个标准SEM样品托的样品台高度可调，并能360度旋转及倾斜〖，也可以拆除用于放置更大的样品，计时器最大范围是240秒。
