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产品型号：9 (SC7640)

制造厂商：上海易微信息科技有限公司

所在地区：上海

技术参数 1. 工作电压(Operate Voltage): 800V D.C. at 20mA 2. 压 力(Vacuum): >10-2 mbar 3. 工作腔室（Chamber）: 156mm直径 4. 靶 材(Target): Gold,Gold/Palladium,Platinum,Nickel,Silver ,Palladium 5. 靶材尺寸（Target Size）: 82mm直径，0.1mm厚 6. 溅射速率(Sputter Rate): 金靶,电流10mA时,1nm/Min（见附图） 7. 计时器(Timer): 0~999秒; 8. 抽真空系统(Pump System): 90L/秒抽力的两级无油机械旋转泵; 9. 电 源(Power Supply): 220V~240V

主要特点 可设置自动或手动操作 低电』压溅射，可得到更薄的膜厚 不需要ω　冷却 样品台高度可调】并可旋转 镀膜厚度均〓匀，重复性好 磁偏◎转靶头 环形靶材溅射面积大

仪器介绍 SC7640 是喷金喷碳仪的〓高级产品，可适用于场发射扫描电镜样品的制备的要求，可以喷金，白金等。800V直流低电压溅射是一项新技々术，可以保证溅射2~3nm的薄镀层，在十万倍放大倍数的场发射电镜下观察不到粒子团聚的现象，从而保证了形貌像的真实。控制系统可以选择手动或自动控制，而5~7nm厚度的常规喷镀时间小于3分钟。选配CA7625F喷碳附件后就可将喷金部件换成喷碳部件实现喷碳操作，而不需要单独购买一台喷碳仪。 SC7640采用→磁电管◥溅射头，82mm直径的环状靶材更换简单方便，可覆盖到的溅射区域更大。氩气泄漏阀控制真空度从而达到调节√等离子体电流的作用，由于是冷溅射所以不需要冷却水。 磁电管溅射头、156mm直径133mm高的耐热玻璃罩及O型密封圈构成封闭的真空腔体，通过外接的无∮油机械旋转泵可以在几分钟内达到要求的ATM ¬1x10-2 mbar真空度。直径60mm可放置6个标准SEM样品托的样品台高度可调，并能360度旋转，也可以拆除用于放置更大的样品，计时器手动调整的精度是1秒，最大范围是◥999秒。