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产品型号：1 (K1050X)

制造厂商：上海易微信息科技有限公司

所在地区：上海

技术参数 等离子输出：最大输出150W，正常工作范围在25~75 瓦 @ 13.56mhz 工作腔室：110mm 直径160mm 长 样品台：抽拉式样品托盘 真空度：操作真空度为0.5mbar到1.0mbar 数字计时单元：0~99.9小时 气流控制：双气体针阀控制，可选1或2或两种气体 电源：230V 50Hz 气源：5 psi工业气体 仪器尺寸：450mm W x 350mm D x 300mm H

主要特点 低能量易操控 “干”反应，不在样品表面产生残留物 抽屉式结构易于放样品 可同时通入』两种气体 全自动○控制 体积小 K1050X等离子清洗、刻蚀、灰化︾仪的应用： 石棉及人造矿物纤维检测 煤的低温灰化 光刻胶清除 硅及氮化硅刻蚀 原子吸收光谱样品制备 塑料表面改性 TEM、SEM样品的无损清洗及刻蚀 TEM、SEM、SPM部件的等离子清洗

仪器介绍 K1050X等离子清洗、刻蚀、灰化仪是针对实▲验室应用设计的，桶形的反应腔保证样品清洗、刻蚀、灰化的各向同性，抽屉式样品室门方便安装样品。可采用两种气体做为刻蚀源，氧气◆用于清洗样品表面污染，氩气用于表面刻蚀。 低温、“干洗”、易于控制是K1050X等离子清洗、刻蚀、灰化仪的最大特点。其原理是气体经等离子发生器电离成离子状态，能量在50~150电子伏特的离子流经样品表面，与样品表面的材料反应生成相应的气体，由真空系◥统排出反应腔，整个过程在样品表面不产生残留物，由于反应离子的能量低所以不损伤样品表面，由▂于过程不剧烈，所以刻蚀的过程易于控制。多种气源可以被用于不同的应用， 等离子发生器是一个水平布置的∩10cm直径 x 15cm深的石英腔体，有观察窗用于实时检测样品表面的异常变化，用90L/分钟的机械泵来达到等离子发生器的真空度，等离子发生器的功率最大到100W，功率和真空度可以调节以适应不同的应用，比如等离子清洗时可将功率调小而刻蚀则需要大功率。当需要得到一系列同等过程处理的样品时，可将系︻统设置为自动，自动控制功能启动时，系统会自动检测各参数变化从而得到可√重复的结果。 对于经常并且长时间使用氧气进行灰化处理用户，我们建议采用抗氧化的泵及●泵油，请在购买时说明选择Fomblin泵和Fomblin油。