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上海易微信息科技有限公司
详细说明
技术参数
型号 外形尺寸 长/宽/高mm XY轴行程 Z轴行程 大气 高真空 超高真空 液氮低温 LT3310XY 33 /33 /11.6 10mm 0mm √ √ x x LT3310XYZ 33 /33 /30 10mm 7mm √ √ x x LT3310XY-UHV 33 /33 /11.6 10mm 0mm √ √ √ x LT3310XYZ-UHV 33 /33 /30 10mm 7mm √ √ √ x LT3310XY-LT 33 /33 /11.6 10mm 0mm √ √ √ √ LT3310XYZ-LT 33 /33 /30 10mm 7mm √ √ √ √ LT6620XY 66 /66 /26 20mm 0mm √ √ x x LT6620XYZ 66 /66 /50 20mm 15mm √ √ x x LT6620XY-UHV 66 /66 /26 20mm 0mm √ √ √ x LT6620XYZ-UHV 66 /66 /50 20mm 15mm √ √ √ x LT6620XY-LT 66 /66 /26 20mm 0mm √ √ √ √ LT6620XYZ-LT 66 /66 /50 20mm 15mm √ √ √ √ LT6820XEYE XY轴带反馈ω 信号 68 /68 /26 20mm 0mm √ √ x x LT6820XEYEZ XY轴带★反馈信号 68 /68 /50 20mm 15mm √ √ x x LT6820XEYEZE XYZ轴带反馈㊣ 信号 68 /68 /50 20mm 15mm √ √ x x LT6820XEYE-UHV XY轴带反馈信号⌒ 68 /68 /26 20mm 0mm √ √ √ x LT6820XEYEZ-UHV XY轴带反馈信号 68 /68 /50 20mm 15mm √ √ √ x LT6820XEYEZE-UHV XYZ轴带反馈信号 68 /68 /50 20mm 15mm √ √ √ x LT12830X2EY2E XY轴带双向反馈信号 128 /128 /50 30mm 0mm √ √ x
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主要特点
结构小◎巧移动灵活 • 结构小巧实用性强 • 即插即用 • 多种附件可用于扩展功能 高稳定高可靠 • 超稳定、低漂移 (1 nm/min) • 高可靠性 (15Km可靠性实验) • 不受震动影响 • 可手动预置▓初始位置 超高精度与快速移动兼备 • 无后座力及无漂移 • 0.25 nm/步进的移动精度 • 在同▆一次驱动中兼具高、低精度移动 • 最快移动速度(1mmm/sec)
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德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳〖米显微线性平台是在纳米马达的基础上构建的产品,可选XY轴或XYZ轴移动,同样能够保证纳米级移动精度和毫米级的移动范围,整个操纵装置全部由纳米马达驱动,从而保证了系统体积非常小,可以很容易地放入电子显微镜腔室内。平台可以安装的环境包括大气环境、真空环境、超高真空环∮境及液氮低温环境。
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